机床部件加工的低温化学热处理进程，为了进步模具的抗蚀性、耐磨性、抗热疲惫和防粘附性能，可采用离子渗氮。离子渗氮的杰出长处是明显地缩短了渗氮时刻，可通过不同气体组份调节控制渗层组织，下降了渗氮层的表面脆性，变形小，渗层硬度散布曲线较平稳，不易产生脱落和热疲惫。

可渗的基体材料比气体渗氮广，无毒，不会爆炸，出产安全，但对外形复杂模具，难以获得均匀的加热和均匀的渗层，且渗层较浅，过渡层较陡，温度测定及温度均匀性仍有待于处理。离子渗氮其渗层厚度以0.2～0.3mm为宜。磨损后的离子渗氮模具，经修正和再次离子渗氮后，可重新投进运用，从而可大大地进步模具的总运用寿命。

离子渗氮温度以450～520℃为宜，经处理6～9h后，渗氮层深约0.2～0.3mm。温度过低，渗层太薄；温度过高，则表层易呈现疏松层，下降抗粘模才能。